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2019年电子工业VOCs废气排 放标准及废气治理技术方案

文章出处: 人气:-21发表时间:2019-5-10 17:59:42

2019年电子工业VOCs废气排 放标准及废气治理技术方案


随着电子工业的发展,政府对电子行业VOCs排放越来越重视。各地政 府也出台了相关的排放标准,为电子工业VOC治理提供了保证。盛华环 保小编汇总了相关的标准,以供参考。


国家层面:

2008年环保部印发《电子工 业污染物排放标准 半导体器件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为80mg/m3,新建企业为60mg/m3。

2008年环保部印发《电子工 业污染物排放标准 电子元件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为80mg/m3,新建企业为50mg/m3。

2008年环保部印发《电子工 业污染物排放标准 电子终端产品》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为70mg/m3,新建企业为50mg/m3。

2008年环保部印发《电子工 业污染物排放标准平板显示器、电真空及光电子器件》(征求意见稿)。规定VOCs的限值现有企业为100mg/m3,新建企业为80mg/m3。

2015年环保部印发《电子工 业污染物排放标准》(征求意见稿)规定非 甲烷总烃最高允许排放浓度为100mg/m3,特别排放限值是80mg/m3,没有涉及TVOCs。

2018年环保部印发《电子工 业污染物排放标准》(二次征求意见稿)规定非 甲烷总烃最高允许排放浓度为100mg/m3,TVOCs是150mg/m3。特排限值分别为50、100。


地方层面:

北京市《大气污 染物综合排放标准》(DB11/501-2007)中规定 半导体及电子产品制造VOCs的限值现有企业为50mg/m3,新建企业为20mg/m3。

天津市《工业企 业挥发性有机化合物排放控制标准》(DB12/524-2014)。规定电子工业VOCs最高允许排放浓度为80mg/m3。

上海市《半导体 行业污染物排放标准》(DB31/374-2006)。规定VOCs最高允许排放浓度为100mg/m3。

2017年广东省《电子工 业挥发性有机物排放标准》(征求意见稿)。规定VOCs最高允许排放浓度为30mg/m3。

2017年广东省《电子设 备制造业挥发性有机化合物排放标准》(征求意见稿)。规定VOCs最高允许排放浓度为40mg/m3。

2018年江苏省《半导体 行业污染物排放标准》(征求意见稿)。规定非 甲烷总烃最高允许排放浓度为60mg/m3。

2018年北京市《电子工 业大气污染物排放标准》(征求意见稿)。规定非 甲烷总烃最高允许排放浓度为20mg/m3,TVOCs是40mg/m3。


高温等离子焚烧技术:

高温等 离子焚烧技术是高频(30KHz)高压(10万伏)大功率 电源在特定条件下的聚能放电。工业废 气在反应器中由常温急剧上升至3千度高温,在高温、高电势的双重作用下,有机污染成分(VOCs)瞬间被 电离并完全裂解。

经高温 等离子焚烧处理,工业废气中有机物(VOCs)裂解成为碳、二氧化碳、水蒸气等单质物质。


废气处理工艺示意图:

高温等 离子焚烧设备特点:

强大的 功率和专业的设计使工业废气瞬间成为3千度的高温等离子体,有害物质清除率大于98%,符合国 家指定排放标准。

不锈钢一体化结构, 耐腐蚀,安全可靠

智能化远程控制,无需专职人员值守。

我们最先提出“高温等离子RTO焚烧”这一概念(发明专利),是掌握 该技术并实际应用的企业。为工业 废气治理开辟了一条全新的途径。


“高温等离子焚烧”技术比较“传统RTO(天然气焚烧方法)”有以下优势:

1、 连续不 间断的处理废气,(天燃气RTO为间歇工作模式)这在垃圾焚烧尾气,凹版印 刷有机废气处理应用方面尤为重要。

2、广谱性:能够处理高浓度、成分复杂、易燃易 爆及含有大量水分、固态、油状物的工业废气,实现达标排放。

3、不消耗天然气,无碳排放问题。没有阀门等运动部件,能够无故障,不间断运行上万小时。

4、 风阻小,能耗低:处理2万立方米/小时的燃气RTO,为克服 陶瓷蓄热体风阻就需要功耗为90千瓦的引风机。

而处理2万立方米/小时的 高温等离子焚烧设备(25千瓦),连同引风机(21千瓦)仅消耗46千瓦功率。

当VOCs类废气排放浓度低于200mg/m3,采用低 功率密度高温等离子处理设备,每1万m3功耗仅为10kW。

无论从 资金投入还是从营运成本考量,本方案 要远胜于浓缩吸附+RTO焚烧方案。

5、能效比高:节约能源,高温等 离设备废气排放口温度,比废气 进口温度仅提高几十度。

6、处理效果好:二恶英 等难以处理的物质,瞬间完全分解,实现达标排放。(是垃圾 焚烧尾气排放二恶英问题的理想解决方案)

7、无臭氧排放问题(低温等 离子设备存在臭氧排放问题)。

8、经济适用:同样规 格的高温等离子设备,价格不到燃气焚烧RTO的二分之一,运营成 本低于二分之一。

9、占地面积小,自动化 程度高节约人力,运营成本低。

10、不会产生二次污染。无异味,对人口 居住密集地区而言这是一个重要的考量指标。

11、天燃气焚烧法RTO造价高昂,大量消耗天燃气、氧气,增加二氧化碳、一氧化碳排放,有二次污染之虑,无法应 对日渐严格的环境保护标准。天燃气 焚烧法因其工作机理及自身结构上的缺陷,在易燃易爆场所,或处理 废气中含有可燃成分时需要考虑防爆问题。天燃气 输送储存过程可能存在因泄漏而引发的安全问题

高温等 离子焚烧技术在工业废气处理方面的应用是一个划时代的技术变革。

高温等 离子焚烧技术将逐步取代天燃气RTO,成为新兴产业。


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